優良事業所

六甲電子 株式会社

優れた技術力(製品)



シリコン・サファイア・SIC等のウエハの研削・研磨・洗浄

受賞事業所概要

半導体製造工程において、シリコンウエハ・SiC・サファイアなどの多種・多様なウエハを、特殊な試作品加工、量産品加工を問わず、研削から研磨まで一貫して、1枚より加工しております。近年ではウエハの洗浄にも力を入れており、パターン付ウエハも洗浄が可能な枚葉洗浄機も導入致しました。


プリズムを研磨する技術から、半導体へシフトして50数年

「元々 軍需関連の測量に必要なプリズムを研磨していたのが、私の父の時代でした。第二次世界大戦が激しくなって、軍事関連以外の工場が立ち行かなくなった時に東京から武庫川にあったミノルタに来たのが西宮とのご縁の始まりでした。」昭和18年から西宮に住むようになった小林一章社長のお話をお聞きした。

代表取締役社長 小林一章

代表取締役社長 小林一章

「敗戦後の混乱期に東京に帰れず、そのまま西宮で工場を立ち上げることになったようです。当時は輸出できる物なら何でも…という時代でしたから、プリズムを利用して砂糖の濃度を測る機械を造ったりしたようです。その頃は甲陽園に工場がありました。あの辺りは、まだ軍のカマボコ兵舎がありましたね。子ども時代の懐かしい思い出です。」

日本で半導体産業が産声を上げた1960年代には、プリズムの研削・研磨から、半導体のシリコンの基盤の研削・研磨へとシフトした。ここ2年ぐらいは、長年携わって来たシリコンウエハ(基盤)の研磨から、サファイアやSiCなどの特殊なウエハも手がけているが、研削・研磨・洗浄をトータルで出来る会社は国内でも少ない。

極限の平坦度を保つ研磨の技術が支える半導体のウエハ(基盤)

厚さ5μmに加工した φ8インチシリコンウエハ

厚さ5μmに加工した φ8インチシリコンウエハ

「半導体が出来るまでには、何百もの工程があり私たちの仕事はその中のほんの3工程だけですが、ゴミの出る仕事なので大手ではこの工程だけは外に出してしまう事が多いんです。厚みのばらつきがでないよう精密に研削し、研削されたシリコンウエハにある微少な凹凸を研磨し、求められれば洗浄までを一貫して行います。この精密作業にはきれいな空気と大量の水が必要となります。」工業用水や地下水、水道水などをブレンドし精密仕上げに必要な超純水をつくる機械は、その維持だけでも年間数千万円かかり、微量のゴミや塵を嫌い完全な平衡が要求される工場ではその環境を作りだすのも大変。

取材の後、工場の一部を案内していただいた。ゴミの出ないようなつなぎ服に身を固め、もちろん靴もマスクも専用のもの。筆記するペーパーも専用の紙を貸していただいた。
車が行き交う幹線道路に近い立地の工場の中は、微量のゴミも許されない世界。気圧や特殊なシートで区切られた場所がそこここに。

「サファイヤは特に硬いので、加工にとても時間がかかります。この壁を乗り越えるためにこの二年試行錯誤してきました。他社からの持込の新しい機械が入ったり、かなり手ごたえは感じています。」工場内を案内していただいた技師長の頼もしい言葉に、思わず「頑張ってください!!」と声をかけた。

研削・研磨・洗浄の一貫加工を強みに、サファイヤ元年にしたいですね

六甲電子 株式会社 「甲子園球場のセンターからホームベースの距離で2〜3ミリの誤差の平坦度しか許されないと言うと、その精密さが解っていただけますか??」
半導体に関わってからこれまではシリコンが主流だったが、この数年サファイヤなどを手がけるようになった。半導体の基盤のシリコン、LEDの基盤となるサファイヤ、電気自動車用の基盤のSiCへと研磨の対象物も変化して来た。「例えば、サファイヤはシリコンに比べると鉄板と紙ぐらい違うんです。長い研磨の歴史があり、研磨するということでは同じですが、とても大きい違いがあり実は手こずっていました。」この業界は結構閉鎖的だったと社長は振り返る。とは言えこの時勢で、最近はホームページを作って自ら情報発信をするようになった。なんと今では、新規受注の8割以上がホームページからの問い合せ。
悩んでいる事も強みもオープンにしたら、引き合いだけでなく、売り込みも入るようになった。

ダイヤモンドに次いで硬いサファイヤのウエハの生産には、まだ乗り越えないといけない事が多い。「このサファイヤの基盤が大量生産できるようになれば、LED照明は安くなりますし、海外に携帯電話を持って行ったときにスムーズに周波数を変更してくれ現地で使用可能になります。」普段あまり縁の無い世界だが、こうして第一線の部分に携わっている会社が西宮にある。

「もの造りの基本として、より良く・より早く・より安全に・・・が我が社のモットーです。ここ数年工夫してきたサファイヤの試作を、今年は形にしたいと思っています。」小林社長の力強いお言葉を聞きながら取材を終えた。
 

六甲電子 株式会社

六甲電子 株式会社

住所:兵庫県西宮市中島町8-5

代表取締役社長:小林一章

ホームページ:
http://www.rokkodenshi.com/

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